Supraleitende Bauelemente

Für supraleitende Bauelemente wurde eine robuste Nb/Al –AlO_x/Nb Technologie entwickelt. Diese beinhaltet den Aufbau komplexer 9-11 lagiger Schichtsysteme bestehend aus verschiedenen Metallen, Metalloxiden und Siliziumoxiden, die mit verschiedenen Beschichtungsverfahren hergestellt werden. Diese Schichtsysteme realisieren zum Beispiel das Sensorprinzip der sogenannten SQUIDs (Superconducting Interference Device).