scharfkantige Strukturen in Silizium

Zur Verwendung von Siliziumbauteilen in optischen Anwendungen nutzt man die speziellen Eigenschaften des Silizium-Einkristalls.

Je nach dessen Orientierungsrichtung (abhängig vom Wafertyp) können Geometrien mit extrem scharfen Kanten mittels Nasschemie hergestellt werden. Solche Strukturen eignen sich z.B. hervorragend als einstellbare Blenden oder Spalte in optischen Strahlengängen.

Abhängig von der Wellenlänge des verwendeten Lichts können so Beugungseffekte und damit auch Lichtverluste vermindert werden.

Zur Eliminierung von Streulicht können zusätzliche Antireflexschichten gezielt auf Wellenlängenbereiche und den Einfallswinkel des auftreffenden Lichts abgestimmt werden.

Die Supracon AG bietet kundenspezifische Siliziumbauteile an und arbeitet in Fragen spezieller Schichtsysteme mit Kooperationspartnern zusammen.