Planare Wellenleiter in Zusammenarbeit mit dem IPHT Jena (Institut für Photonische Technologien e.V.)

Planare Wellenleiter erlauben eine einfache und sehr präzise Fertigung von Faserführungsstrukturen zur Ankopplung von Glasfasern an integriert-optische Komponenten. In einem Projekt mit dem IPHT Jena (Institut für Photonische Technologien e.V.) wurden spezielle Strukturierungs- und Ätztechniken zur Realisierung solcher Bauelemente erarbeitet. Mit Hilfe dieser Technologie können hohe Flankensteilheiten sowie geringe Rauheiten der Strukturkanten und geätzten Flächen erreicht werden.